平成12年度

(本科)

武市敏明 平行平板電極型バリア放電を用いたヘリウムプラズマの特性に及ぼす減圧の影響

小森泰裕 平行平板電極型バリア放電を用いた酸素プラズマの特性に及ぼす減圧の影響

尾関高野 直流放電プラズマの空間構造に関する数値解析

橋本 功 バリア放電を用いたオゾン生成の特性に及ぼすマルチパス構造化の影響


平成11年度

(本科)

信川裕史 誘電体バリア放電を用いた極低温下でのオゾン生成

(専攻科)

三輪直敬 大気圧非平衡プラズマ化学反応によるシリコン酸化膜のCVDと諸因子の影響


平成10年度

(本科)

加賀博之 高周波大気圧グロー放電のダイヤモンド薄膜CVDへの応用

古田光孝 誘電体バリア放電を用いたシリコン酸化膜のCVDと放電電力計測系の開発

三浦和久 誘電体バリア放電を用いた低温下でのオゾン生成


平成9年度

(本科)

西野達彦 誘電体バリア放電を用いた大気圧下非平衡プラズマのダイヤモンド薄膜CVDへの応用

三輪直敬 誘電体バリア放電を用いた大気圧下非平衡プラズマのダイヤモンド薄膜CVDへの応用

三間崇詞 無声放電を用いたオゾン生成プロセスにおける反応解析

(専攻科)

服部公則 非平衡プラズマを用いた酸化反応のシリコン酸化膜CVDへの応用


平成8年度

(本科) 

臼田正直 ダイヤモンドCVD用リアクターにおけるDC放電プラズマの特性

村橋隆志 ダイヤモンドCVD用リアクターにおけるDC放電プラズマの特性

鈴木宏和 無声放電を用いたオゾン生成における諸因子の影響

前畑 勲 無声放電を用いたオゾン生成における諸因子の影響


平成7年度

なし


平成6年度

(本科)

荒石悟志 酸素ーアセチレン火炎を用いたCVD法によるダイヤモンド薄膜合成

北村良孝 酸素ーアセチレン火炎を用いたCVD法によるダイヤモンド薄膜合成

大平 篤 方形波パルス無声放電を用いたオゾン生成

中川敏光 方形波パルス無声放電を用いた珪酸エチルー酸素系CVD法によるシリコン酸化膜合成

長谷川 洋司 分子動力学法による物質状態変化の解析


平成5年度

(本科)

石神 望 3次元トラバース装置のリモートモニタリングによる制御

谷川正樹 火炎CVD法によるダイヤモンド薄膜合成に関する研究

武友 学 火炎CVD法によるダイヤモンド薄膜合成に関する研究

松本員城 無声放電を用いた珪酸エチル/酸素系常圧CVD法によるシリコン酸化膜合成に関する研究


平成4年度

(本科)

今井鉄也 熱フィラメントCVD法によるダイヤモンド薄膜合成に関する研究

所 直樹 熱フィラメントCVD法によるダイヤモンド薄膜合成に関する研究

棚橋紀仁 一軸位置決め制御に関する研究


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