【真空蒸着装置】


蒸着装置です。
アルミニウムや金などを抵抗加熱蒸着して製膜します。

【Hot-wire CVD装置】

CVD装置です。
現在はフィラメントを使用したHot-wire CVD装置
として稼働しています。
基板ホルダに加熱機構が付いているため
熱CVD装置としても利用できます。

【フォトルミネッセンス測定】

フォトルミネッセンス(PL)測定装置です。
半導体薄膜に励起光を照射して
発光(フォトルミネッセンス)を観測します。
この測定により、半導体のバンド構造などを
解析できます。

【一定光電流測定装置】

一定光電流(CPM)測定装置です。
分光した光を半導体に照射して光電気伝導を
測定します。
この際、光電流が一定になるよう制御することで
微弱な光吸収スペクトルの測定が可能です。